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半導體氣體產品服務
 
氣體供應系統 Gas Distribution System (GDS)

和淞科技於 2006 年通過 OHSAS18000 認証、2008 年通過 ISO 9001 升級認證及氣瓶櫃通過了 SEMI S2 認證的相關要求。和淞科技提供氣體供應系統之各項設備,產品線包含 VMB、VMP、VDB、VDP、Gas Cabinet、Gas Rack、Purifier Box 及 Scrubber。以上所有產品皆可以依照客戶需求量身訂作,依照各種氣體特性不同,給予相關氣體特性諮詢,並提供完整且最有效率的解決方案 (Total Solution)。

台積電
三福氣體

氣瓶櫃&氣瓶架系統/ Gas Cabinet & Gas Rack

          刊登日期:2012/09/17  
 
聯  絡  人:   Albert Chiang
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+886-3-5973168#230

        氣瓶櫃 可應用於多種特殊氣體供應系統,以滿足特殊顧客需要。氣瓶櫃包含供氣盤面,控制器和面板,完全包覆的箱體,排氣管路,並可依客戶需求加裝,溫度偵測器,灑水頭,UVIR偵測器等.另外,採用人性化控制介面,使用者可選擇,幾乎所有氣體的需要。氣瓶櫃在300mm晶片製程中有可證明紀錄,在65nm和45nm的應用中,有99.999%的正常運行時間。可以提供系統解决方案。

        氣瓶架 使用於惰性氣體架或者一般性氣體供應,滿足小型氣體供應系統需要。氣瓶櫃包含供氣盤面,控制器和面板, 系統控制為自動操作。可設計為壓力切換或重量切換。PLC 可提供附加的輸入和輸出功能,以PLC為基礎的控制器能提供全自動系統控制。

 

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