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半導體氣體產品服務
 
氣體供應系統 Gas Distribution System (GDS)

和淞科技於 2006 年通過 OHSAS18000 認証、2008 年通過 ISO 9001 升級認證及氣瓶櫃通過了 SEMI S2 認證的相關要求。和淞科技提供氣體供應系統之各項設備,產品線包含 VMB、VMP、VDB、VDP、Gas Cabinet、Gas Rack、Purifier Box 及 Scrubber。以上所有產品皆可以依照客戶需求量身訂作,依照各種氣體特性不同,給予相關氣體特性諮詢,並提供完整且最有效率的解決方案 (Total Solution)。

台積電
三福氣體

廢氣除害器/ Scrubber

          刊登日期:2012/09/18  
 
聯  絡  人:   Steven Huang/ Bryant Hsieh
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Scrubber

        廢氣除害器/ Scrubber, 用於氣瓶櫃更換鋼瓶時尾氣處理, 此廢氣除害設備,用於去除對人體和環境有害的特殊氣體。氣瓶櫃因更換特殊氣體鋼瓶時,會有殘氣需要處理, 不可以直接排放到大氣, 故需要經過廢氣除害設備,以吸附方式處理,吸附在廢氣處理設備中的乾式藥劑桶中. 此設備主要由管路及閥件,與乾式藥劑桶組成組成, 帶有氮氣沖吹功能,以稀釋特殊氣體濃度, 達到最佳吸附效果; 並有壓力警報輸出, 當壓力有異常時, 會自動輸出警報至中央控制室, 並通知值班人員查看。此廢氣處理設備,利用化學吸附式或物理吸附式,對於排放的特殊氣體進行吸附,使排放之有害氣體低於人體暴露容許濃度TLV-TWA ,避免對於人體及環境造成危害。

 

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