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半導體氣體產品服務
 
氣體供應系統 Gas Distribution System (GDS)

和淞科技於 2006 年通過 OHSAS18000 認証、2008 年通過 ISO 9001 升級認證及氣瓶櫃通過了 SEMI S2 認證的相關要求。和淞科技提供氣體供應系統之各項設備,產品線包含 VMB、VMP、VDB、VDP、Gas Cabinet、Gas Rack、Purifier Box 及 Scrubber。以上所有產品皆可以依照客戶需求量身訂作,依照各種氣體特性不同,給予相關氣體特性諮詢,並提供完整且最有效率的解決方案 (Total Solution)。

台積電
三福氣體

氣瓶架供應盤/Gas Rack

          刊登日期:2012/09/17  
 
聯  絡  人:   Steven Huang/ Bryant Hsieh
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GR

        氣瓶架供應盤(含控制盤)/GAS RACK,簡稱RACK。為一氣體鋼瓶置架,連接來自鋼瓶或大流量惰性氣體集朿鋼瓶,調整壓力及流量後,供給主管路或PANEL使用。具有氮氣沖吹及升壓自動泄壓等安全功能。可設定泄壓範圍,當供應壓力異常升高,高於設定壓力時,自動泄壓。利用壓差或重量自動更換供應源,不會因鋼瓶用完了而停氣。更換鋼瓶時,可用N2氣體做高壓測漏及低壓Purge。現場鋼瓶供應壓力及狀態可傳送至中控室做顯示,不需到現場看壓力錶。

 

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