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半導體氣體產品服務
 
氣體供應系統 Gas Distribution System (GDS)

和淞科技於 2006 年通過 OHSAS18000 認証、2008 年通過 ISO 9001 升級認證及氣瓶櫃通過了 SEMI S2 認證的相關要求。和淞科技提供氣體供應系統之各項設備,產品線包含 VMB、VMP、VDB、VDP、Gas Cabinet、Gas Rack、Purifier Box 及 Scrubber。以上所有產品皆可以依照客戶需求量身訂作,依照各種氣體特性不同,給予相關氣體特性諮詢,並提供完整且最有效率的解決方案 (Total Solution)。

台積電
三福氣體

氣體分流盤/VMP

          刊登日期:2012/09/17  
 
聯  絡  人:   Steven Huang/ Bryant Hsieh
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VMP

       氣體分流盤(閥組)VALVE MANIFOLD PANEL,簡稱VMP。為一個管件及閥件組合盤面,主要用途為連接來自氣瓶櫃或大流量一般性氣體分流盤的管路,調整壓力及流量後,分流出去給設備使用。氣體分流器(閥組)VMP是將一般性氣體安全並安定的供應給半導體生產設備上的裝置。

 

 

       

 

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特氣分流閥箱/ VMB 氣瓶櫃&氣瓶架系統/ Gas Cabinet & Gas Rack
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