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半導體氣體產品服務
 
氣體供應系統 Gas Distribution System (GDS)

和淞科技於 2006 年通過 OHSAS18000 認証、2008 年通過 ISO 9001 升級認證及氣瓶櫃通過了 SEMI S2 認證的相關要求。和淞科技提供氣體供應系統之各項設備,產品線包含 VMB、VMP、VDB、VDP、Gas Cabinet、Gas Rack、Purifier Box 及 Scrubber。以上所有產品皆可以依照客戶需求量身訂作,依照各種氣體特性不同,給予相關氣體特性諮詢,並提供完整且最有效率的解決方案 (Total Solution)。

台積電
三福氣體

特氣分流閥箱/ VMB

          刊登日期:2012/09/17  
 
聯  絡  人:   Steven Huang/ Bryant Hsieh
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VMB

      特氣分流閥箱VALVEMANIFOLD BOX。為一個將特殊氣體分配盤安裝於箱體內的設計,主要用途為連接來自氣瓶櫃或大流量特氣分流箱的管路,調整壓力及流量後,分流出去給設備使用。具有抽氣、氮氣沖吹及排氣等安全功能。

      特氣分流器(閥組)VMB 是將特殊氣體安全並安定的供應給半導體生產設備上的裝置。氣體之箱體平時保持負壓排氣,萬一在箱體內氣體盤面產生洩漏時,因有安全的排氣銜接至Scrubber,所以不會洩漏到箱體外部,也因此能夠防止人體吸入和爆炸火災等的災害的發生。VMB  一般設置在無塵室內,將由氣瓶櫃或大流量氣體分流箱,供給來的半導體材料氣體,加以分岐後,供應給制程裝置機台。另外,VMB 上也裝設了有 N2 Purge Line 使更換元件更安全, 並可依客戶需求安裝UVIR,溫度警報,灑水頭等機能。

 

 

   相關熱門產品:
氣瓶櫃&氣瓶架系統/ Gas Cabinet & Gas Rack 大宗氣體供應系統/BSGS
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