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半導體氣體產品服務
 
氣體供應系統 Gas Distribution System (GDS)

和淞科技於 2006 年通過 OHSAS18000 認証、2008 年通過 ISO 9001 升級認證及氣瓶櫃通過了 SEMI S2 認證的相關要求。和淞科技提供氣體供應系統之各項設備,產品線包含 VMB、VMP、VDB、VDP、Gas Cabinet、Gas Rack、Purifier Box 及 Scrubber。以上所有產品皆可以依照客戶需求量身訂作,依照各種氣體特性不同,給予相關氣體特性諮詢,並提供完整且最有效率的解決方案 (Total Solution)。

台積電
三福氣體

氣體設備製造產品服務
 
廠務供應事業處
BSGS
大宗氣體供應系統/BSGS
大宗氣體供應系統(BSGS)是有很高技術的氣體供應系統,專為專業大宗氣體的安全自動供氣而設計。PLC控制器搭配人機介面人機介面使操作者能夠簡單方便地使用觸控面板,以使操作者更便捷地操作機器。利用繪圖界面導引,使操作者能通過瀏覽螢幕,迅速决定如何操作工具 ...
 
氣瓶櫃&氣瓶架系統/ Gas Cabinet & Gas Rack
氣瓶櫃 可應用於多種特殊氣體供應系統,以滿足特殊顧客需要。氣瓶櫃包含供氣盤面,控制器和面板,完全包覆的箱體,排氣管路,並可依客戶需求加裝,溫度偵測器,灑水頭,UVIR偵測器等.另外,採用人性化控制介面,使用者可選擇,幾乎所有氣體的需要。氣瓶櫃在300mm晶片製程中 ...
 
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