氣體設備意境圖
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半導體氣體產品服務
 
氣體供應系統 Gas Distribution System (GDS)

和淞科技於 2006 年通過 OHSAS18000 認証、2008 年通過 ISO 9001 升級認證及氣瓶櫃通過了 SEMI S2 認證的相關要求。和淞科技提供氣體供應系統之各項設備,產品線包含 VMB、VMP、VDB、VDP、Gas Cabinet、Gas Rack、Purifier Box 及 Scrubber。以上所有產品皆可以依照客戶需求量身訂作,依照各種氣體特性不同,給予相關氣體特性諮詢,並提供完整且最有效率的解決方案 (Total Solution)。

台積電
三福氣體

氣體設備製造產品服務
 
廠務供應事業處
化學分流箱/Injection Moulded Chemical VMB
射出成型的PP閥箱使用用高效能的氣動及手動閥, 用於Chemical ditribution 化學供應系統 進口管徑1" , 可搭配4個個出口從1"到1/2". 此Chemical VMB包含1/2"手動Drain valve.特色說明1. 專利設計,PP材質,防止金屬污染。2. 一體射出成型及透明蓋,清楚了解內部狀況。3. P ...
 
Scrubber
廢氣除害器/ Scrubber
廢氣除害器/ Scrubber, 用於氣瓶櫃更換鋼瓶時尾氣處理, 此廢氣除害設備,用於去除對人體和環境有害的特殊氣體。氣瓶櫃因更換特殊氣體鋼瓶時,會有殘氣需要處理, 不可以直接排放到大氣, 故需要經過廢氣除害設備,以吸附方式處理,吸附在廢氣處理設備中的乾式藥劑桶中. ...
 
GR
氣瓶架供應盤/Gas Rack
氣瓶架供應盤(含控制盤)/GAS RACK,簡稱RACK。為一氣體鋼瓶置架,連接來自鋼瓶或大流量惰性氣體集朿鋼瓶,調整壓力及流量後,供給主管路或PANEL使用。具有氮氣沖吹及升壓自動泄壓等安全功能。可設定泄壓範圍,當供應壓力異常升高,高於設定壓力時,自動泄壓。利用壓差或 ...
 
VMP
氣體分流盤/VMP
氣體分流盤(閥組)VALVE MANIFOLD PANEL,簡稱VMP。為一個管件及閥件組合盤面,主要用途為連接來自氣瓶櫃或大流量一般性氣體分流盤的管路,調整壓力及流量後,分流出去給設備使用。氣體分流器(閥組)VMP是將一般性氣體安全並安定的供應給半導體生產設備上的裝置。 ...
 
VMB
特氣分流閥箱/ VMB
特氣分流閥箱VALVEMANIFOLD BOX。為一個將特殊氣體分配盤安裝於箱體內的設計,主要用途為連接來自氣瓶櫃或大流量特氣分流箱的管路,調整壓力及流量後,分流出去給設備使用。具有抽氣、氮氣沖吹及排氣等安全功能。 特氣分流器(閥組)VMB 是將特殊氣體安全並安定 ...
 
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