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氣體供應系統 Gas Delivery System (GDS)

和淞科技は2006年にOHSAS18000の認証資格を取得し、2008年にISO 9001:2008の認証も更新されました。同年に高圧ガスキャビネットはSEMI S2認証を受け、合格しました。弊社はガス供給システムにおける各種設備を提供します。製品はVMB・VMP・VDB・VDP・Gas Cabinet・Gas Rack・Purifier Box・Scrubberなどに及び、顧客のニーズに合わせるカスタマイズ設計を行っています。また、ガス性質についてのご相談も承っており、高効率のトータルソリューションをご提供致します。

台積電
三福氣體

射出成形VMB (Injection Moulded Chemical VMB)

          掲載日:2014/05/13  
 
聯  絡  人:   Steven Huang
聯絡電話:   +886-937-349-297

ウエットケミカルの分岐システムはインジェクションPPボックスの中にコンパクトで高性能な空気操作弁と手動弁で構成されます、1”の入口x1、1/2“~1”の出口x4が利用可能です。1/2“サイズの手動ドレインバルブも含まれます。

Features

●射出成形VMBは、金属汚染を排除するために特許を得た非金属構造による設計です

●射出成形VMBは、射出成形されたワンピースのVMB筐体と射出成形された透明PP製のカバーで構成されます

●PPリークセンサーはオプションで取り付け可能です

●VMB筐体の底部にはケミカルの残留エリアがない廃液設計です

●非金属設計の大流量/高圧力対応のPFAバルブで構成されます

             

 

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