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氣體供應系統 Gas Delivery System (GDS)

和淞科技は2006年にOHSAS18000の認証資格を取得し、2008年にISO 9001:2008の認証も更新されました。同年に高圧ガスキャビネットはSEMI S2認証を受け、合格しました。弊社はガス供給システムにおける各種設備を提供します。製品はVMB・VMP・VDB・VDP・Gas Cabinet・Gas Rack・Purifier Box・Scrubberなどに及び、顧客のニーズに合わせるカスタマイズ設計を行っています。また、ガス性質についてのご相談も承っており、高効率のトータルソリューションをご提供致します。

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三福氣體

大流量供給システム/BSGS

          掲載日:2012/10/17  
 
聯  絡  人:   Steven Huang/ Bryant Hsieh
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大流量供給システム/BSGSは大流量ガスの自動的安全搬送を行うと目に設計される高技術力を持つ分岐システムです。タッチパネル設計はユーザーに更なる操作性を与え、簡単かつスピーティに機械を操ることができます。グラフィックUIはモニター視認性を高め、どの機能を選ぶかは一目瞭然です。また、操作を理解するためにパネルボタンと画面メニューが用意されます。
        大流量供給システムはガスを一個または数個大流量供給分岐へ振りかけるために設計されるシステムで、大型ガスシリンダー、Y型シリンダー式/パイプ式トレーラーなどに使われています。本システムは2種類圧力調節器・大型加熱器・リソース環境制御などの機器を持つ大流量または超大流量需要の、安定供給によって正常運転時間を保つために設定されたものです。内蔵ソフトウェアはすべて能率向上と使用寿命に最適化されます。

ガス分流システムは多種の機器に応用することができ、特殊な需要にフィットできるシステムとして設計され、セットとなるガスキャビネット、制御機器とパネル控制器は機能を満たすことができます。また、オプション追加によってあらゆるガスシステムのニーズが満足できましょう。弊社のガス分流システムはすでに300mm薄型チップ生産ラインで応用される実績を持ち、65nmや45nm工程に99.999%の正常運転時間を有することも実証済みで、設備の更新・増設の時、経験豊かなシステムソリューションとしてご提供できます。ガス分流システムは惰性ガスラックやガスキャビネットに取り付けられ、システム包容性を満たし排気装置へのニーズも満足できます。また、自動操作の需要に合わせて制御機器をご提供できます。制御切替コントローラはラックシステムに取り付けられ、空きボンベから満ボンベへの切替は自動的に行えます。オプションとしてマイクロセンサーで出入力性能が提供され、半自動制御システムに自動切替機能を持たせます。PLCをベースにしたPowerPurge Vコントローラはフル自動システム機能を有し、カスタマイズ設定可能な警告、タイマー、定位置など運転パラメータが用意されます。

 

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