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氣體供應系統 Gas Delivery System (GDS)

和淞科技は2006年にOHSAS18000の認証資格を取得し、2008年にISO 9001:2008の認証も更新されました。同年に高圧ガスキャビネットはSEMI S2認証を受け、合格しました。弊社はガス供給システムにおける各種設備を提供します。製品はVMB・VMP・VDB・VDP・Gas Cabinet・Gas Rack・Purifier Box・Scrubberなどに及び、顧客のニーズに合わせるカスタマイズ設計を行っています。また、ガス性質についてのご相談も承っており、高効率のトータルソリューションをご提供致します。

台積電
三福氣體

ガス分配ボックス/ VMB

          掲載日:2012/10/17  
 
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ガス分配ボックス/ VALVEMANIFOLDBOXは高圧ガスキャビネットや大流量ガス分岐盤からの配管と繋ぎ、圧力や流量を調節して各設備に供給する分配ボックスです。保安機能としてガス抜き、窒素吹きだし及び排気機能を有します。

     ガス分配ボックスは特殊ガスを安全かつ安定的に半導体生産設備へ供給する装置です。普段はマイナス圧を保ち、漏れが発生するとき安全に排出できるため、人体に吸収されるもしくは引火する恐れのあるガスを盤体より外部へ漏れることはありません(INERT GASは例外)。ガス分配ボックスはクリーンルームに設置され、高圧ガスキャビネットや大流量ガス分岐盤からの半導体用ガスを各プロセス制御機器に振り分けます。なお、ガス分配ボックスにパージラインなどの機能を有します。

 

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