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氣體供應系統 Gas Delivery System (GDS)

和淞科技は2006年にOHSAS18000の認証資格を取得し、2008年にISO 9001:2008の認証も更新されました。同年に高圧ガスキャビネットはSEMI S2認証を受け、合格しました。弊社はガス供給システムにおける各種設備を提供します。製品はVMB・VMP・VDB・VDP・Gas Cabinet・Gas Rack・Purifier Box・Scrubberなどに及び、顧客のニーズに合わせるカスタマイズ設計を行っています。また、ガス性質についてのご相談も承っており、高効率のトータルソリューションをご提供致します。

台積電
三福氣體

ガスラック/GAS RACK

          掲載日:2012/10/17  
 
聯  絡  人:   Steven Huang/ Bryant Hsieh
聯絡電話:   +886-937-349-297
+886-978-103-322

ガスラック/GAS RACKはガスボンベや大流量惰性ガスボンベ集束装置からの流体を圧力と流量を調節してメイン通路やパネルに供給し、窒素吹き出しや自動圧力排出など安全機能を有します。圧力差でガス供給を止めることなく供給元を切り替えできます。ボンベ交換時にN2ガスで高圧漏れテストと低圧のパージが行えます。また、現場のボンベ供給圧は制御室に送信され、現場確認の手間を省けます。圧力排出閾値は設定可能で、供給圧の異常上昇で限界圧力を超える場合も自動的に圧力を排出することは可能です。

 

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